DKG-ONE CF4 氣態分子污染物四氟化碳CF4泄漏分析儀
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人氣：3469 發布時間：2020-05-26 10:46 關鍵詞：CF4泄漏分析儀 四氟化碳檢測 分子污染物檢測 潔凈室CF4檢測儀 半導體CF4檢測儀 產品型號：DKG-ONE 應用領域：大氣控制 產品價格： 想了解更多產品詳情，請 |
技術應用
l GASERA ONE CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術，結合量子級聯激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結合提供了足夠的靈敏度以無時延的探測最微小濃度的CF4噴濺或者溢出，同時保證了超高水平的穩定性。重新校準的周期長達幾個月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。
l 運行條件
溫度范圍：0℃…+49℃
濕度：無凝露
壓力范圍：750mbar-1050 mbar
防塵/水等級：IP20 (IEC 529)
l 儲存條件
溫度范圍：-20 ℃ ~+60 ℃
l 樣品氣體條件
溫度范圍：0 ~ +49 °C
濕度：無凝露，溫度達35°C時最大相對濕度80%，溫度達49°C時線性下降至35%
壓力：750 mbar…1050 mbar
氣流：約1L/min
顆粒物< 1 μm
測量參數
l 響應時間：取決于用戶可定義通道積分時間CIT以及氣體沖洗設定。根據平均時間和采樣設定從大約15秒到幾分鐘不等
l 監測下限：N2O 2 ppb，CH4 10 ppb
l 動態量程：5個數量級（檢測下限的100,000倍)
l 重復性：運行條件下，校準濃度重復性小于1%
l 準確度：校準濃度下好于5%，受限于校準氣體準確度
l 溫度穩定性：在運行溫度范圍內的環境溫度變化不會導致漂移
l 壓力穩定性：壓力范圍內的樣品壓力變化不會導致漂移
可靠的監測
l 高靈敏度的GASERA ONE CF4可以在生產環境中快速的探測污染物。另外，直接吸收式的檢測因其零背景的性質，可保證長期高穩定性。GASERA ONE CF4可與其他檢測儀器，如顆粒物監測儀等，整合在一個機柜里。
優勢
l 準確、可靠和低維護成本的潔凈室污染控制
l 快速的響應時間，以捕捉急速上升的濃度
l 獨立運行系統，內置氣體交換泵
l 無耗材或者化學試劑
l 短光程，單點校準也可達到業內領先的動態量程
l 直接吸收測量，無漂移
l 校準間隔長（可達數年）
l 高選擇性，不受乙醛和其他VOC的干擾
特點
l 高選擇性的監測痕量水平的CF4
l 檢測下限(LoD)低于0.1 ppb
l 響應時間可設置，從10秒到幾分鐘
l 動態范圍寬，運行穩定
l 無耗材
l 低樣品量（幾ml）
l 內置氣體交換系統
l 重新校準間隔長（幾個月）
l 直觀的用戶界面
l 內置顯示屏，可數字式或者圖線式顯示結果
l 可通過局域網遠程操作
