有機廢氣凈化工藝的選擇及效果
更新時間：2010-09-25 10:10
來源：礦冶
作者:
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摘要：本文通過對半導體工業的有機廢氣凈化工藝及設備的分析，總結了各種凈化工藝特點和應用的范圍。在擴建工程中選擇了合理的凈化工藝及設備。經過一年的生產驗證，有機廢氣達到國家大氣污染物排放標準，與現有廢氣處理設備相比，節省了投資、降低了運行成本，經濟效果明顯。
關鍵詞：有機廢氣；碳吸附；比表面
1 引言
隨著半導體集成電路生產規模擴大和技術升級，其在各行業發揮著越來越重要的作用。近幾年，半導體工業迅猛發展，合資、獨資建成投產十幾條生產線。由于在集成電路生產過程要求在高潔凈度廠房進行，但生產工藝中需要使用有機和無機化學藥品，所以，通風排氣對于生產十分重要。我國半導體工業起步較晚，所以相應的廢氣凈化技術比較落后，一般在引進生產線的同時引進廢氣凈化設施，投資及運行成本很高，如何消化吸收國外先進的廢氣凈化工藝，選擇合適的工藝保證穩定生產和達標，對于新建和改擴建廢氣處理系統非常重要。
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